ATI高效过滤器检漏系统
气溶胶发生器MODEL TDA-5C技术参数：
| 可使用的流量范围 | 1,500-65,000 cfm (42~1839.5m3/min) |
| 发生浓度 | 10ug/L： 流量 65,000 cfm |
| 100ug/L： 流量 6,500 cfm | |
| 发生粒子类型 | 多分散 （冷） |
| 产生类型 | 加热发生 |
| 压缩气体（惰性） | Nitrogen,Argon,Carbon Dioxide或Helium (50psi)) |
| 压缩气体（惰性气体） | 20立方英尺/小时在50psi 压力下 |
| 电源 | 110-240V AC,50/60Hz |
| 外形尺寸 | 约350×250×250mm |
| 重量 | 约9.1kg |
